真空計按測量性質可分為**真空計和相對真空計。所謂**真空計就是通過測量物理量本身確定壓力的一種真空計,例如U型壓力計、壓縮式真空計就是**真空計。通過測量與壓力有關的物理量并與**真空計比較來確定壓力的真空計稱為相對真空計。我們校準的電離真空計、電容薄膜真空計、熱傳導真空計,都是相對真空計。

電離真空計

    電離規管的結構為一個圓筒型三極管,它有三個電極:陰極F發射電子;柵極A加速電子,收集極C收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負電位。它的優點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強; 反應迅速,可連續讀數和遠距離控制; 量程寬,線性好,測量精度較高。缺點主要是在壓強高于10- 1 Pa時,容易氧化燈絲,一旦系統突然暴露大氣會燒壞規管;玻殼、電極的放氣導致測量的誤差。

校準電離真空計時,應注意以下六點:

（1）一般情況下,規管和系統連接時,先將未開封的規管和測量電路連接到一起試一下,檢查規管是否正常,然后再接到系統。

（2）在校準的過程中,如果出現故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規管試一下,判斷是規管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規管一切正常,說明原規管有問題;如果換上未開封的規管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。

（3）規管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。

（4）在開燈絲前,判斷被測真空系統中的真空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規管陰極氧化而燒毀。

（5）在讀數之前,應先調整好發射電流、零點及滿度。具體步驟是: 發射電流—零點—滿度—發射電流。

（6）電離真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。