新型 INFICON 皮拉尼壓電組合壓力計(jì) （PPG550） 基于*先進(jìn)的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)。

在MEMS工藝中小型化的皮拉尼/壓電組合技術(shù)可以構(gòu)建一個(gè)非常小的傳感器，從而節(jié)省空間，這使得測(cè)量設(shè)備的整體高度非常小成為可能。

除了高度低的優(yōu)勢(shì)外，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比經(jīng)典皮拉尼更深、更精準(zhǔn)地測(cè)量的優(yōu)勢(shì)。結(jié)合安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器，皮拉尼真空計(jì)成為真正的真空寬量程計(jì)，將測(cè)量范圍擴(kuò)展到遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過通常的1000 mbar，也朝向大氣。同時(shí)，MEMS壓電傳感器提供2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是增加了對(duì)加速力和振動(dòng)的抵抗力。

*后但并非*不重要的一點(diǎn)是，新型 INFICON PPG550 可用于直接插入，取代所謂的 MKS910“雙傳?微型皮拉尼 - 絕 對(duì)壓電真空壓力傳感器”以及 MKS925“微型皮拉尼??真空壓力傳感器”。Inficon 具有相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和 RS232/485 兼容性。